Poukisa sistèm livrezon gaz UHP yo tèlman enpòtan?
Nan fabrikasyon semi-kondiktè—pwosesis tankou grave, CVD, enplantasyon iyon, ak litografi—gaz pwosesis yo dwe gen yon pite ultra-wo, tipikman 99.9999% (6N) oswa menm 99.99999% (7N). Menm tras kontaminan nan nivo ppb (pati pa milya) oswa ppt (pati pa trilyon)—tankou imidite oswa oksijèn—ka lakòz domaj fatal tankou eklèsi oksid pòtay, vid metalik, oswa kous kout sou waf yo, sa ki ka kraze tout yon pakèt.
Misyon yon sistèm livrezon gaz UHP se pou transpòte gaz yo soti nan sous la rive nan zouti pwosesis la san okenn degradasyon nan pite, pou anpeche kontaminasyon ak flit nan tout pwen.
Poukisa tib EP vin tounen kolòn vètebral sistèm UHP yo?
Tib EP (Elektwopoli) yo fèt ak asye pur ki sibi yon pwosesis polisaj elektwochimik, sa ki bay yon sifas entèn ki sanble ak yon glas. Sa fè li tounen "atè" endispansab pou distribisyon gaz UHP.
Pwòpte Ekstrèm – Prevansyon nan Sous la
Pwosesis EP a diminye aspè sifas entèn (Ra) a 0.13 µm – 0.25 µm oubyen menm pi ba. Fini ultra lis sa a elimine fant mikwoskopik ak sit adsorpsyon, sa ki pa kite plas pou patikil, iyon metal, oubyen imidite kole.
Rezistans korozyon amelyore - Prezèvasyon pite
Etap elektwopolisaj la retire enpurte sifas yo epi li fòme yon kouch pasif rich an oksid kwòm, sa ki amelyore anpil rezistans a gaz koroziv tankou Cl₂, CF₄, ak HCl. Sa anpeche korozyon miray tiyo a ki ta ka jenere patikil oswa kontaminasyon gaz.
Amelyorasyon Efikasite Koule & Pirifikasyon Pi Rapid
Miray enteryè lis la diminye rezistans koule a epi li akselere netwayaj sistèm nan ak sibstitisyon gaz. Nan pwosesis ki mande chanjman gaz rapid, sa diminye tan sik yo epi ogmante pwodiksyon faktori a.
Materyèl Premium - Estanda "Kowòn" nan
Tib EP kalite siperyè yo fabrike ak asye pur 316L VIM-VAR (Vacuum Induction Melting + Vacuum Arc Remelting). Pwosesis doub-fonn sa a asire yon pite ekstrèm nan metal de baz la, ki se yon kondisyon fondamantal pou reyalize pèfòmans final EP a.
Senaryo Aplikasyon Kle yo
•
Pwosesis debaz yo– Livrezon gaz reyaktif ki gen gwo pite pou grave, CVD, enplantasyon iyon, ak litografi.
•
Gaz Espesyal– Manyen gaz ki ka pran dife, toksik, oswa koroziv tankou SiH₄, PH₃, Cl₂, ak BCl₃ san danje. Pou gaz ki trè danjere, yo souvan itilize tib EP doub kontènman (tib enteryè pou gaz, jakèt ekstèn vid oswa pirifye ak azòt pou siveyans flit).
•
Materyèl Kritik– Yo itilize nan panno distribisyon gaz (VMB), kabinèt gaz, ak koneksyon zouti pwosesis kote sifas entèn yo dwe ultra pwòp.
Pi lwen pase tib la: Lòt eleman esansyèl pou yon sistèm UHP konplè
Pou asire yon entegrite absoli, sistèm nan dwe genyen tou:
•
Soudi Orbital konplètman otomatik– Fèt nan chanm pwòp ISO Klas 5 (Klas 100) oswa pi bon, sa ki elimine varyasyon soude manyèl ak risk kontaminasyon.
•
Fittings sele figi tout metal– Tankou kalite VCR® oubyen W-Seal yo, ki itilize garnitur metal pou yon pèfòmans san flit.
•
Netwayaj ak Anbalaj Rijid– Tib EP yo tipikman netwaye ak dlo pite ki gen anpil valè, seche, epi pirifye ak nitwojèn anvan yo mete yo nan de sak nan anbalaj chanm pwòp pou prezève pite "jan yo te anbake a" jiskaske enstalasyon an.
Tib EP a pa sèlman yon tiyo—li se premye liy defans nan livrezon gaz semi-kondiktè. Sifas ultra lis li, rezistans siperyè li a kont korozyon, ak pite materyèl prim lan gen yon enpak dirèk sou rannman waf la, fyab aparèy la, ak rentabilité jeneral faktori a. Nan mond nœd sub-5nm yo ak bidjè domaj ki pi sere chak jou, tib EP a pa opsyonèl—li fondamantal.
Dat piblikasyon: 5 Out 2026