1. Definisyon sistèm gaz esansyèl:
Depo ak kontwòl presyon gaz inaktif Kalite gaz: Gaz tipik inaktif (azòt, agon, lè konprese, elatriye)
Gwosè tiyo: Soti nan 1/4 (siveyans tiyo) nan tiyo prensipal 12-pous
Pwodwi prensipal yo nan sistèm nan se: tiyo dyafram / soupap valv / valv boul, konektè segondè-pite (VCR, fòm soude), konektè ferrule, tiyo reglemante presyon, kalib presyon, elatriye.
Kounye a, nouvo sistèm nan gen ladan tou yon sistèm gaz espesyal esansyèl, ki itilize silenn gaz fiks oswa kamyon tank pou depo ak transpò.
2. Definisyon sistèm pirifikasyon:
Retire enpurte nan gaz esansyèl pou tiyo gaz pite segondè
3. Definisyon kabinè gaz:
Bay kontwòl presyon ak siveyans koule pou sous gaz espesyal (toksik, ki ka pran dife, reyaktif, gaz korozif), epi yo gen kapasite pou ranplase silenn gaz.
Kote: Sitiye sou etaj Sub-fab la oswa etaj anba a pou depo gaz espesyal Sous: NF3, SF6, WF6, elatriye.
Gwosè tiyo: Entèn tiyo gaz, jeneralman 1/4 pous pou tiyo pwosesis, 1/4-3/8 pous sitou pou tiyo pite nitwojèn pi wo.
Pwodwi prensipal yo: tiyo dyafram pite segondè, tiyo chèk, mezi presyon, mezi presyon, konektè pite segondè (VCR, fòm soude) Kabinè gaz sa yo fondamantalman gen kapasite pou chanje otomatik pou silenn asire rezèv gaz kontinyèl ak ranplasman san danje nan silenn.
4. Definisyon distribisyon:
Konekte sous gaz la ak bobin koleksyon gaz la
Gwosè liy: Nan faktori chip la, gwosè tiyo distribisyon gaz la jeneralman varye ant 1/2 pous ak 2 pous.
Fòm koneksyon: tiyo gaz espesyal yo jeneralman konekte pa soude, san okenn koneksyon mekanik oswa lòt pati k ap deplase, sitou paske koneksyon an soude gen fyab sele fò.
Nan yon faktori chip, gen dè santèn de kilomèt nan tib ki konekte nan transmèt gaz, ki se fondamantalman apeprè 20 pye nan longè ak soude ansanm. Gen kèk koube tib ak koneksyon soude tubulaires yo tou trè komen.
5. Bwat valv milti-fonksyon (Valv Manifold Box, VMB) Definisyon:
Li se distribye gaz espesyal soti nan sous gaz la nan pwent ekipman diferan.
Gwosè tiyo entèn: tiyo pwosesis 1/4 pous, ak tiyo purge 1/4 - 3/8 pous. Sistèm nan ka itilize kontwòl òdinatè pou mande tiyo aktuye oswa sitiyasyon ki pi ba pri ak tiyo manyèl.
Pwodwi sistèm: tiyo dyafram pite segondè / tiyo souf, tiyo chèk, jwenti pite segondè (VCR, fòm mikwo-soude), tiyo reglemante presyon, mezi presyon ak mezi presyon, elatriye Pou distribisyon an nan kèk gaz inaktif, Valv Manifold Panel la. - VMP (disk valv milti-fonksyon) se sitou itilize, ki gen yon sifas disk gaz louvri epi li pa mande pou yon konsepsyon espas fèmen ak pirj nitwojèn adisyonèl.
6. Segondè plak valv / bwat (Zouti Hookup Panel) Definisyon:
Konekte gaz ki nesesè nan ekipman semi-conducteurs soti nan sous gaz la nan fen ekipman an epi bay règleman presyon ki koresponn lan. Panèl sa a se yon sistèm kontwòl gaz ki pi pre nan fen ekipman pase VMB (bwat valv milti-fonksyon).
Gwosè tiyo gaz: 1/4 - 3/8 pous
Gwosè tiyo likid: 1/2 - 1 pous
Gwosè tiyo egzeyat: 1/2 - 1 pous
Pwodwi prensipal yo: valv dyafram / soupap soupap, valv yon sèl-fason, tiyo reglemante presyon, kalib presyon, kalib presyon, jwenti-wo pite (VCR, mikwo-soude), jwenti ferrule, valv boul, kawotchou, elatriye.
Lè poste: 22-Nov-2024