Pwojè 909 trè gwo echèl sikwi entegre faktori a se yon gwo pwojè konstriksyon endistri elektwonik peyi mwen an pandan nevyèm plan senkan an pou pwodwi chips ak yon lajè liy 0.18 mikron ak yon dyamèt 200 mm.
Teknoloji fabrikasyon sikui entegre gwo-echèl pa sèlman enplike teknoloji segondè-presizyon tankou mikwo-machin, men tou, mete kondisyon segondè sou pite gaz.
Pwovizyon gaz esansyèl pou Pwojè 909 la bay nan yon antrepriz ant Praxair Utility Gas Co, Ltd nan Etazini ak pati enpòtan nan Shanghai pou etabli ansanm yon plant pwodiksyon gaz. Plant pwodiksyon gaz la se adjasan a faktori pwojè 909. bilding, ki kouvri yon zòn nan apeprè 15,000 mèt kare. Pite ak pwodiksyon kondisyon gaz divès kalite
Azòt pite (PN2), nitwojèn (N2), ak oksijèn pite (PO2) yo pwodui pa separasyon lè. Idwojèn ki gen pite segondè (PH2) pwodui pa elektwoliz. Agon (Ar) ak elyòm (Li) yo achte tretans. Se kazi-gaz la pirifye ak filtre pou itilize nan Pwojè 909. Se gaz espesyal apwovizyone nan boutèy, ak kabinè a boutèy gaz sitiye nan atelye a oksilyè nan plant la pwodiksyon sikwi entegre.
Lòt gaz yo gen ladan tou pwòp sèk konprese lè CDA sistèm, ak yon volim itilizasyon 4185m3 / h, yon pwen lawouze presyon nan -70 ° C, ak yon gwosè patikil ki pa plis pase 0.01um nan gaz la nan pwen an nan itilize. Sistèm lè konprese (BA) pou respire, volim itilizasyon 90m3/h, pwen lawouze presyon 2℃, gwosè patikil nan gaz la nan pwen itilizasyon an pa pi gran pase 0.3um, sistèm vakyòm pwosesis (PV), volim itilizasyon 582m3/h, degre vakyòm nan pwen an nan itilize -79993Pa. Netwayaj vakyòm (HV) sistèm, volim itilizasyon 1440m3 / h, degre vakyòm nan pwen itilizasyon -59995 Pa. Chanm nan COMPRESSOR lè ak chanm ponp vakyòm yo tou de sitiye nan zòn nan faktori 909 pwojè.
Seleksyon materyèl tiyo ak Pwodwi pou Telefòn
Gaz yo itilize nan pwodiksyon VLSI gen kondisyon pwòpte trè wo.Tiyo gaz pite segondèyo anjeneral yo itilize nan anviwònman pwodiksyon pwòp, ak kontwòl pwòpte yo ta dwe konsistan avèk oswa pi wo pase nivo la pwòpte nan espas ki la nan itilize! Anplis de sa, tiyo gaz pite yo souvan itilize nan anviwònman pwodiksyon pwòp. Pi idwojèn (PH2), oksijèn pite (PO2) ak kèk gaz espesyal yo se gaz ki ka pran dife, eksplozif, ki konbisyon-sipòte oswa toksik. Si sistèm tiyo gaz la mal fèt oswa materyèl yo mal chwazi, se pa sèlman pite gaz yo itilize nan pwen gaz la diminye, men li pral echwe tou. Li satisfè kondisyon pwosesis yo, men li pa an sekirite pou itilize epi li pral lakòz polisyon nan faktori pwòp la, ki afekte sekirite ak pwòpte faktori pwòp la.
Garanti nan bon jan kalite a nan pite-wo gaz nan pwen an itilize pa sèlman depann sou presizyon nan pwodiksyon gaz, ekipman pou pirifye ak filtè, men tou se afekte nan yon gwo limit pa anpil faktè nan sistèm nan tiyo. Si nou konte sou ekipman pwodiksyon gaz, ekipman pou pirifye ak filtè Li se tou senpleman kòrèk pou enpoze egzijans presizyon enfiniman pi wo pou konpanse pou move konsepsyon sistèm tiyo gaz oswa seleksyon materyèl.
Pandan pwosesis konsepsyon pwojè 909 la, nou te swiv "Kòd pou konsepsyon plant pwòp" GBJ73-84 (estanda aktyèl la se (GB50073-2001)), "Kòd pou konsepsyon estasyon lè konprese" GBJ29-90, "Kòd". pou Konsepsyon Estasyon Oksijèn" GB50030-91, "Kod pou Konsepsyon Estasyon Idwojèn ak Oksijèn" GB50177-93, ak mezi teknik ki enpòtan pou seleksyon materyèl tiyo ak Pwodwi pou Telefòn. "Kòd pou konsepsyon plant pwòp" endike seleksyon materyèl tiyo ak tiyo jan sa a:
(1) Si pite gaz la pi gran pase oswa egal a 99.999% ak pwen lawouze a pi ba pase -76 ° C, 00Cr17Ni12Mo2Ti ba-kabòn Nerjaveèi tiyo (316L) ak electropolished miray enteryè oswa OCr18Ni9 Nerjaveèi tiyo (304) ak electropolished miray enteryè ta dwe itilize. Valv la ta dwe yon valv dyafram oswa yon valv souf.
(2) Si pite gaz la pi gran pase oswa egal a 99.99% ak pwen lawouze a pi ba pase -60 ° C, yo ta dwe itilize tib asye pur OCr18Ni9 (304) ak miray enteryè electropolished. Eksepte pou tiyo souf ki ta dwe itilize pou tiyo gaz ki ka pran dife, yo ta dwe itilize tiyo boul pou lòt tiyo gaz.
(3) Si pwen lawouze lè konprese sèk pi ba pase -70 °C, yo ta dwe itilize tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) ak miray enteryè poli. Si pwen lawouze a pi ba pase -40 ℃, yo ta dwe itilize tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) oswa cho-plonje galvanised tiyo asye san pwoblèm. Valv la ta dwe yon valv souf oswa yon valv boul.
(4) Materyèl valv la ta dwe konpatib ak materyèl tiyo koneksyon an.
Dapre kondisyon espesifikasyon yo ak mezi teknik ki enpòtan, nou sitou konsidere aspè sa yo lè w ap chwazi materyèl tiyo:
(1) Pèmeyabilite lè materyèl tiyo yo ta dwe piti. Tiyo nan diferan materyèl gen diferan pèmeyabilite lè. Si yo chwazi tiyo ki gen pi gwo pèmeyabilite lè a, polisyon pa ka retire. Tiyo asye pur ak tiyo kwiv yo pi bon nan anpeche pénétration ak korozyon nan oksijèn nan atmosfè a. Sepandan, depi tiyo asye pur yo mwens aktif pase tiyo kwiv, tiyo kwiv yo pi aktif nan pèmèt imidite nan atmosfè a antre nan sifas enteryè yo. Se poutèt sa, lè w ap chwazi tiyo pou tiyo gaz-wo pite, tiyo asye pur yo ta dwe premye chwa a.
(2) Sifas enteryè materyèl tiyo a adsorbe e li gen yon ti efè sou analiz gaz la. Apre tiyo asye pur la trete, yo pral kenbe yon sèten kantite gaz nan lasi metal li yo. Lè gaz-wo pite pase nan, pati sa a nan gaz la pral antre nan koule lè a ak lakòz polisyon. An menm tan an, akòz adsorption ak analiz, metal la sou sifas enteryè tiyo a pral pwodwi tou yon sèten kantite poud, sa ki lakòz polisyon nan gaz la-wo pite. Pou sistèm kanalizasyon ak pite pi wo pase 99.999% oswa nivo ppb, yo ta dwe itilize 00Cr17Ni12Mo2Ti ki ba kabòn asye pur tiyo (316L).
(3) Rezistans mete nan tiyo asye pur pi bon pase sa yo ki nan tiyo kòb kwiv mete, ak pousyè metal la ki te pwodwi pa ewozyon koule lè a se relativman mwens. Atelye pwodiksyon ki gen pi wo kondisyon pou pwòpte ka itilize 00Cr17Ni12Mo2Ti tiyo asye pur kabòn ki ba (316L) oswa OCr18Ni9 tiyo asye pur (304), tiyo kwiv pa dwe itilize.
(4) Pou sistèm kanalizasyon ak pite gaz ki pi wo a 99.999% oswa nivo ppb oswa ppt, oswa nan chanm pwòp ak nivo pwòpte lè N1-N6 ki espesifye nan "Kod konsepsyon faktori pwòp", tiyo ultra-pwòp oswaEP ultra-pwòp tiyota dwe itilize. Netwaye "tib pwòp ak sifas enteryè ultra-lis".
(5) Gen kèk nan sistèm tiyo gaz espesyal yo itilize nan pwosesis pwodiksyon an se gaz ki trè korozivite. Tiyo yo nan sistèm tiyo sa yo dwe sèvi ak korozyon ki reziste tiyo asye pur kòm tiyo. Sinon, tiyo yo pral domaje akòz korozyon. Si tach korozyon rive sou sifas la, yo pa dwe itilize tiyo òdinè asye san pwoblèm oswa galvanised tiyo asye soude.
(6) Nan prensip, tout koneksyon tiyo gaz yo ta dwe soude. Depi soude tiyo asye galvanised pral detwi kouch galvanised la, tiyo asye galvanised yo pa itilize pou tiyo nan chanm pwòp.
Lè w pran faktè ki anwo yo an konsiderasyon, tiyo ak tiyo gaz yo chwazi nan pwojè & 7& yo jan sa a:
Tiyo sistèm nitwojèn-wo pite (PN2) yo te fè nan 00Cr17Ni12Mo2Ti tiyo asye pur ba-kabòn (316L) ak mi anndan electropolished, ak tiyo yo te fè nan tiyo Nerjaveèi asye pur nan menm materyèl la.
Tiyo sistèm nitwojèn (N2) yo te fè nan 00Cr17Ni12Mo2Ti tiyo asye pur ba-kabòn (316L) ak mi anndan electropolished, ak tiyo yo te fè nan tiyo Nerjaveèi asye pur nan menm materyèl la.
Tiyo sistèm idwojèn-wo pite (PH2) yo te fè nan 00Cr17Ni12Mo2Ti tiyo asye pur ba-kabòn (316L) ak mi anndan electropolished, ak tiyo yo te fè nan tiyo Nerjaveèi asye pur nan menm materyèl la.
Tiyo sistèm oksijèn-wo pite (PO2) yo te fè nan 00Cr17Ni12Mo2Ti tiyo asye pur ba-kabòn (316L) ak mi enteryè elektwo-poli, ak tiyo yo te fè nan tiyo Nerjaveèi asye pur nan menm materyèl la.
Tiyo sistèm Agon (Ar) yo te fè nan 00Cr17Ni12Mo2Ti tiyo asye pur ba-kabòn (316L) ak mi anndan electropolished, ak tiyo Nerjaveèi asye pur nan menm materyèl la yo itilize.
Tiyo yo sistèm elyòm (Li) yo te fè nan 00Cr17Ni12Mo2Ti ki ba-kabòn tiyo asye pur (316L) ak mi anndan electropolished, ak tiyo yo te fè nan tiyo Nerjaveèi asye pur nan menm materyèl la.
Tiyo sistèm pwòp sèk konprese (CDA) yo te fè nan tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) ak mi enteryè poli, ak tiyo yo te fè nan tiyo Nerjaveèi asye pur nan menm materyèl la.
Tiyo sistèm lè konprese (BA) pou respire yo te fè nan tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) ak mi enteryè poli, ak tiyo yo te fè nan tiyo boul asye pur nan menm materyèl la.
Tiyo sistèm vakyòm pwosesis (PV) yo te fè nan tiyo UPVC, ak tiyo yo te fè nan tiyo vakyòm papiyon te fè nan menm materyèl la.
Tiyo netwayaj vakyòm (HV) yo fèt ak tiyo UPVC, ak tiyo yo te fè nan tiyo papiyon vakyòm ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo yo nan sistèm gaz espesyal la yo tout te fè nan 00Cr17Ni12Mo2Ti tiyo asye pur ba-kabòn (316L) ak mi anndan electropolished, ak tiyo yo te fè nan tiyo Nerjaveèi asye pur nan menm materyèl la.
3 Konstriksyon ak enstalasyon tiyo
3.1 Seksyon 8.3 nan "Kòd Konsepsyon bilding nan faktori pwòp" endike dispozisyon sa yo pou koneksyon tiyo:
(1) Koneksyon tiyo yo ta dwe soude, men tiyo asye galvanised cho-plonje yo ta dwe file.
(2) Tiyo asye pur yo ta dwe konekte pa soude argon ak soude bou oswa soude priz, men tiyo gaz-wo pite yo ta dwe konekte pa soude bou san mak sou miray enteryè a.
(3) Koneksyon ki genyen ant tiyo ak ekipman yo ta dwe konfòme yo ak kondisyon koneksyon ekipman an. Lè w ap itilize koneksyon kawotchou, yo ta dwe itilize kawotchou metal.
(4) Koneksyon ki genyen ant tiyo ak tiyo yo ta dwe konfòme yo ak règleman sa yo
① Materyèl sele ki konekte tiyo gaz pite segondè yo ak tiyo yo ta dwe itilize garnitur metal oswa doub ferrul selon kondisyon ki nan pwosesis pwodiksyon an ak karakteristik gaz.
②Materyèl sele a nan koneksyon an fil oswa bride yo ta dwe polytetrafluoroethylene.
3.2 Dapre egzijans espesifikasyon yo ak mezi teknik ki enpòtan, yo ta dwe soude koneksyon an nan tiyo gaz pite otank posib. Dirèk soude bou ta dwe evite pandan soude. Yo ta dwe itilize chemiz manch tiyo oswa jwenti fini. Chemiz manch tiyo yo ta dwe fèt nan menm materyèl ak sifas enteryè lis kòm tiyo yo. nivo, pandan soude, yo nan lòd yo anpeche oksidasyon nan pati nan soude, gaz pwoteksyon pi yo ta dwe prezante nan tiyo a soude. Pou tiyo asye pur, yo ta dwe itilize soude argon ak, epi yo ta dwe prezante gaz Agon nan menm pite a nan tiyo a. Koneksyon Threaded oswa koneksyon Threaded dwe itilize. Lè konekte bride, yo ta dwe itilize ferrules pou koneksyon fil. Eksepte pou tiyo oksijèn ak tiyo idwojèn, ki ta dwe itilize garnitur metal, lòt tiyo yo ta dwe itilize garnitur polytetrafluoroethylene. Aplike yon ti kantite kawotchou silikone nan garnitur yo pral efikas tou. Amelyore efè sele. Mezi menm jan an ta dwe pran lè koneksyon bride yo fèt.
Anvan travay enstalasyon kòmanse, yon enspeksyon vizyèl detaye nan tiyo,ekipman, tiyo, elatriye dwe te pote soti. Mi enteryè a nan tiyo òdinè asye pur yo ta dwe marinated anvan enstalasyon. Tiyo yo, ekipman, tiyo, elatriye nan tiyo oksijèn yo ta dwe entèdi nan lwil oliv, epi yo ta dwe estrikteman degrese selon kondisyon ki enpòtan anvan enstalasyon yo.
Anvan sistèm nan enstale epi mete an itilize, sistèm tiyo transmisyon ak distribisyon yo ta dwe konplètman purge ak gaz ki pite ki te delivre. Sa a pa sèlman soufle patikil pousyè ki aksidantèlman tonbe nan sistèm nan pandan pwosesis enstalasyon an, men tou, jwe yon wòl siye nan sistèm tiyo a, retire yon pati nan gaz ki gen imidite ki absòbe miray tiyo a e menm materyèl tiyo a.
4. Tès presyon tiyo ak akseptasyon
(1) Apre yo fin enstale sistèm lan, yo dwe fè enspeksyon radyografi 100% nan tiyo ki transpòte likid ki trè toksik nan tiyo gaz espesyal, epi bon jan kalite yo pa dwe pi ba pase Nivo II. Lòt tiyo yo dwe sijè a echantiyon enspeksyon radyografi, ak rapò enspeksyon echantiyon an pa dwe mwens pase 5%, bon jan kalite a pa dwe pi ba pase klas III.
(2) Apre yo fin pase enspeksyon an ki pa destriktif, yo ta dwe fè yon tès presyon. Yo nan lòd yo asire sechrès la ak pwòpte nan sistèm nan kanalizasyon, yo pa dwe fè yon tès presyon idwolik, men yo ta dwe itilize yon tès presyon pneumatik. Tès presyon lè a ta dwe fèt lè l sèvi avèk nitwojèn oswa lè konprese ki matche ak nivo pwòpte chanm pwòp la. Presyon tès la nan tiyo a ta dwe 1.15 fwa presyon konsepsyon an, ak presyon tès la nan tiyo a vakyòm yo ta dwe 0.2MPa. Pandan tès la, presyon an ta dwe ogmante piti piti epi tou dousman. Lè presyon an monte a 50% nan presyon tès la, si pa gen okenn anòmal oswa flit yo jwenn, kontinye ogmante presyon an etap pa etap pa 10% nan presyon tès la, epi estabilize presyon an pou 3 minit nan chak nivo jiskaske presyon tès la. . Estabilize presyon an pou 10 minit, Lè sa a, diminye presyon an nan presyon konsepsyon an. Tan an sispann presyon yo ta dwe detèmine selon bezwen yo nan deteksyon koule. Ajan kimen an kalifye si pa gen okenn flit.
(3) Apre sistèm vakyòm lan pase tès presyon an, li ta dwe tou fè yon tès degre vakyòm 24 èdtan dapre dokiman konsepsyon yo, ak to presyon an pa ta dwe pi gran pase 5%.
(4) Tès flit. Pou sistèm tiyo klas ppb ak ppt, dapre espesifikasyon ki enpòtan, pa gen okenn flit dwe konsidere kòm kalifye, men tès la kantite flit yo itilize pandan konsepsyon, se sa ki, tès la kantite flit fèt apre tès la sere lè. Presyon an se presyon k ap travay, epi presyon an sispann pou 24 èdtan. Mwayèn flit èdtan an se mwens pase oswa egal a 50ppm kòm kalifye. Kalkil la nan flit la se jan sa a:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Nan fòmil la:
Flit yon èdtan (%)
P1-Presyon absoli nan kòmansman tès la (Pa)
P2-Presyon absoli nan fen tès la (Pa)
T1-tanperati absoli nan kòmansman tès la (K)
T2-tanperati absoli nan fen tès la (K)
Tan poste: Dec-12-2023