Aplikasyon tiyo gaz ki gen gwo pite nan sistèm jeni elektwonik

Pwojè 909 la, Faktori Sikwi Entegre sou Gwo ​​Echèl, se yon gwo pwojè konstriksyon nan endistri elektwonik peyi mwen an pandan Nevyèm Plan Senkan an pou pwodui chip ki gen yon lajè liy 0.18 mikron ak yon dyamèt 200 mm.

Teknoloji fabrikasyon sikui entegre ki gen gwo echèl pa sèlman enplike teknoloji presizyon tankou mikwo-usinage, men tou li mete gwo egzijans sou pite gaz la.
Pwovizyon gaz an gwo pou Pwojè 909 la ap fèt grasa yon antrepriz ant Praxair Utility Gas Co., Ltd. nan Etazini ak pati konsène yo nan Shanghai pou etabli ansanm yon izin pwodiksyon gaz. Izin pwodiksyon gaz la akote bilding faktori pwojè 909 la, li kouvri yon sifas apeprè 15,000 mèt kare. Kondisyon pite ak pwodiksyon divès gaz yo...

Yo pwodui azòt (PN2), azòt (N2), ak oksijèn (PO2) ki gen gwo pite pa separasyon lè. Yo pwodui idwojèn (PH2) ki gen gwo pite pa elektwoliz. Yo achte Agon (Ar) ak elyòm (He) nan men konpayi ekstèn. Yo pirifye epi filtre kvazi-gaz la pou yo itilize nan Pwojè 909. Yo founi gaz espesyal nan boutèy, epi kabinè boutèy gaz la sitiye nan atelye oksilyè plant pwodiksyon sikwi entegre a.
Lòt gaz yo gen ladan yo tou sistèm CDA ak lè konprese pwòp e sèk, ak yon volim itilizasyon 4185m3/h, yon pwen lawouze presyon -70°C, ak yon gwosè patikil ki pa plis pase 0.01um nan gaz la nan pwen itilizasyon an. Sistèm lè konprese pou respire (BA), volim itilizasyon 90m3/h, pwen lawouze presyon 2℃, gwosè patikil nan gaz la nan pwen itilizasyon an pa plis pase 0.3um, sistèm vakyòm pwosesis (PV), volim itilizasyon 582m3/h, degre vakyòm nan pwen itilizasyon -79993Pa. Sistèm vakyòm netwayaj (HV), volim itilizasyon 1440m3/h, degre vakyòm nan pwen itilizasyon -59995 Pa. Sal konpresè lè a ak sal ponp vakyòm nan tou de sitiye nan zòn faktori pwojè 909 la.

Seleksyon materyèl ak akseswa pou tiyo
Gaz yo itilize nan pwodiksyon VLSI a gen egzijans pwòpte ki trè wo.Tiyo gaz ki gen gwo piteYo anjeneral itilize yo nan anviwònman pwodiksyon pwòp, epi kontwòl pwòpte yo ta dwe konsistan avèk oswa pi wo pase nivo pwòpte espas ki an itilizasyon an! Anplis de sa, yo souvan itilize tiyo gaz ki gen gwo pite nan anviwònman pwodiksyon pwòp. Idwojèn pi (PH2), oksijèn ki gen gwo pite (PO2) ak kèk gaz espesyal se gaz ki ka pran dife, eksplozif, ki sipòte konbisyon oswa toksik. Si sistèm tiyo gaz la mal fèt oswa materyèl yo mal chwazi, non sèlman pite gaz ki itilize nan pwen gaz la ap diminye, men li pral echwe tou. Li satisfè egzijans pwosesis yo, men li pa an sekirite pou itilize epi li pral lakòz polisyon nan faktori pwòp la, sa ki afekte sekirite ak pwòpte faktori pwòp la.
Garanti kalite gaz ki gen gwo pite a nan pwen itilizasyon an pa sèlman depann de presizyon pwodiksyon gaz la, ekipman pou pirifye ak filtè yo, men li afekte tou anpil faktè nan sistèm tiyo a. Si nou konte sou ekipman pwodiksyon gaz, ekipman pou pirifye ak filtè, li tou senpleman pa kòrèk pou enpoze egzijans presizyon ki pi wo pou konpanse pou move konsepsyon sistèm tiyo gaz oswa move seleksyon materyèl.
Pandan pwosesis konsepsyon pwojè 909 la, nou te swiv "Kòd pou Konsepsyon Plant Pwòp" GBJ73-84 (nòm aktyèl la se (GB50073-2001)), "Kòd pou Konsepsyon Estasyon Lè Konprese" GBJ29-90, "Kòd pou Konsepsyon Estasyon Oksijèn" GB50030-91, "Kòd pou Konsepsyon Estasyon Idwojèn ak Oksijèn" GB50177-93, ak mezi teknik ki enpòtan pou seleksyon materyèl ak akseswa tiyo yo. "Kòd pou Konsepsyon Plant Pwòp" la presize seleksyon materyèl tiyo ak tiyo yo jan sa a:

(1) Si pite gaz la pi gran pase oswa egal a 99.999% epi pwen lawouze a pi ba pase -76°C, yo ta dwe itilize tiyo asye pur 00Cr17Ni12Mo2Ti ki gen ti kabòn (316L) ak miray enteryè elektwopoli oswa tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) ak miray enteryè elektwopoli. Valv la ta dwe yon valv dyafram oswa yon valv souflèt.

(2) Si pite gaz la pi gran pase oswa egal a 99.99% epi pwen lawouze a pi ba pase -60°C, yo ta dwe itilize tib asye pur OCr18Ni9 (304) ak miray enteryè elektwopoli. Eksepte pou tiyo souflèt ki ta dwe itilize pou tiyo gaz ki ka pran dife, yo ta dwe itilize tiyo boul pou lòt tiyo gaz.

(3) Si pwen lawouze lè konprese sèk la pi ba pase -70°C, yo ta dwe itilize tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) ak miray enteryè poli. Si pwen lawouze a pi ba pase -40℃, yo ta dwe itilize tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) oswa tiyo asye san pwoblèm galvanize cho. Valv la ta dwe yon valv souflèt oswa yon valv boul.

(4) Materyèl valv la ta dwe konpatib ak materyèl tiyo koneksyon an.

Selon egzijans espesifikasyon yo ak mezi teknik ki enpòtan yo, nou sitou konsidere aspè sa yo lè n ap chwazi materyèl pou tiyo yo:

(1) Pèmeyabilite lè materyèl tiyo yo ta dwe piti. Tiyo ki fèt ak diferan materyèl gen diferan pèmeyabilite lè. Si yo chwazi tiyo ki gen pi gwo pèmeyabilite lè, polisyon pa ka retire. Tiyo asye pur ak tiyo kwiv yo pi bon pou anpeche pénétration ak korozyon oksijèn nan atmosfè a. Sepandan, kòm tiyo asye pur yo mwens aktif pase tiyo kwiv, tiyo kwiv yo pi aktif pou pèmèt imidite nan atmosfè a penetre nan sifas enteryè yo. Se poutèt sa, lè w ap chwazi tiyo pou tuyot gaz ki gen gwo pite, tiyo asye pur yo ta dwe premye chwa a.

(2) Sifas enteryè materyèl tiyo a absòbe epi li gen yon ti efè sou analiz gaz la. Apre yo fin trete tiyo asye pur la, yon sèten kantite gaz ap rete nan rezo metal li a. Lè gaz ki gen gwo pite a pase, pati sa a nan gaz la ap antre nan koule lè a epi lakòz polisyon. An menm tan, akòz absòpsyon ak analiz, metal ki sou sifas enteryè tiyo a ap pwodui tou yon sèten kantite poud, sa ki lakòz polisyon nan gaz ki gen gwo pite a. Pou sistèm tiyo ki gen pite ki pi wo pase 99.999% oswa nivo ppb, yo ta dwe itilize tiyo asye pur 00Cr17Ni12Mo2Ti ki gen ti kabòn (316L).

(3) Rezistans tiyo asye pur yo pi bon pase tiyo kwiv yo, epi pousyè metal ki pwodui pa ewozyon koule lè a relativman mwens. Atelye pwodiksyon ki gen pi gwo egzijans pou pwòpte ka itilize tiyo asye pur ki gen ti kabòn 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) oswa tiyo asye pur OCr18Ni9 (304), yo pa dwe itilize tiyo kwiv.

(4) Pou sistèm tiyo ki gen yon pite gaz ki pi wo pase 99.999% oubyen nivo ppb oubyen ppt, oubyen nan chanm pwòp ki gen nivo pwòpte lè N1-N6 ki espesifye nan "Kòd Konsepsyon Faktori Pwòp" la, tiyo ultra-pwòp oubyenTiyo EP ultra-pwòpyo ta dwe itilize. Netwaye "tib pwòp ak yon sifas enteryè ultra lis".

(5) Gen kèk nan sistèm tiyo gaz espesyal yo itilize nan pwosesis pwodiksyon an ki gen gaz ki trè koroziv. Tiyo nan sistèm tiyo sa yo dwe itilize tiyo asye pur ki reziste korozyon kòm tiyo. Sinon, tiyo yo ap domaje akòz korozyon. Si tach korozyon parèt sou sifas la, yo pa dwe itilize tiyo asye san pwoblèm òdinè oswa tiyo asye galvanize soude.

(6) An prensip, tout koneksyon tiyo gaz yo ta dwe soude. Piske soude tiyo asye galvanize ap detwi kouch galvanize a, yo pa itilize tiyo asye galvanize pou tiyo nan chanm pwòp.

Lè nou konsidere faktè ki anwo yo, tiyo ak tiyo gaz yo chwazi nan pwojè &7& la se jan sa a:

Tiyo sistèm azòt ki gen gwo pite (PN2) yo fèt ak tiyo asye pur ki ba an kabòn 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ak mi enteryè elektwopoli, epi valv yo fèt ak valv souflèt asye pur ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm azòt (N2) yo fèt ak tiyo asye pur 00Cr17Ni12Mo2Ti ki pa gen anpil kabòn (316L) avèk mi enteryè elektwopoli, epi valv yo fèt ak valv souflèt asye pur ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm idwojèn ki gen gwo pite (PH2) yo fèt ak tiyo asye pur ki pa gen anpil kabòn 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ak mi enteryè elektwopoli, epi valv yo fèt ak valv souflèt asye pur ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm oksijèn (PO2) ki gen gwo pite yo fèt ak tiyo asye pur ki pa gen anpil kabòn 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ak mi enteryè elektwo-poli, epi valv yo fèt ak valv souflèt asye pur ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm Agon (Ar) yo fèt ak tiyo asye pur ki pa gen anpil kabòn 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) avèk mi enteryè elektwopoli, epi yo itilize tiyo souflèt asye pur ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm elyòm (He) yo fèt ak tiyo asye pur ki ba an kabòn 00Cr17Ni12Mo2Ti (316L) ak mi enteryè elektwopoli, epi valv yo fèt ak valv souflèt asye pur ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm lè konprese pwòp e sèk (CDA) yo fèt ak tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) ak mi enteryè poli, epi valv yo fèt ak valv souflèt asye pur ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm lè konprese pou respire (BA) yo fèt ak tiyo asye pur OCr18Ni9 (304) ak mi enteryè poli, epi valv yo fèt ak valv boul asye pur ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm vakyòm pwosesis (PV) yo fèt ak tiyo UPVC, epi valv yo fèt ak valv papiyon vakyòm ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm aspiratè netwayaj (HV) yo fèt ak tiyo UPVC, epi valv yo fèt ak valv papiyon vakyòm ki fèt ak menm materyèl la.
Tiyo sistèm gaz espesyal la tout fèt ak tiyo asye pur 00Cr17Ni12Mo2Ti ki pa gen anpil kabòn (316L) ak mi enteryè elektwopoli, epi valv yo fèt ak valv souflèt asye pur ki fèt ak menm materyèl la.

3 Konstriksyon ak enstalasyon tiyo
3.1 Seksyon 8.3 nan "Kòd Konsepsyon Bilding Faktori Pwòp" la stipile dispozisyon sa yo pou koneksyon tiyo yo:
(1) Koneksyon tiyo yo ta dwe soude, men tiyo asye galvanize cho yo ta dwe file. Materyèl sele koneksyon file yo dwe konfòm ak egzijans Atik 8.3.3 nan spesifikasyon sa a.
(2) Tiyo asye pur yo ta dwe konekte pa soude ak argon ak soude bout oswa soude socket, men tiyo gaz ki gen gwo pite yo ta dwe konekte pa soude bout san mak sou miray enteryè a.
(3) Koneksyon ant tiyo yo ak ekipman an ta dwe konfòme ak egzijans koneksyon ekipman an. Lè w ap itilize koneksyon tiyo, ou ta dwe itilize tiyo metal.
(4) Koneksyon ant tiyo yo ak tiyo yo ta dwe konfòme ak règleman sa yo

① Materyèl sele ki konekte tiyo ak tiyo gaz ki gen gwo pite yo ta dwe itilize garnitur metalik oswa doub ferul selon egzijans pwosesis pwodiksyon an ak karakteristik gaz la.
②Materyèl sele nan koneksyon filete a oswa flanje a ta dwe politetrafluoroetilèn.
3.2 Selon egzijans espesifikasyon yo ak mezi teknik ki enpòtan yo, koneksyon tiyo gaz ki gen gwo pite yo ta dwe soude otank posib. Yo ta dwe evite soude dirèkteman bout a bout pandan soudaj la. Yo ta dwe itilize manch tiyo oswa jwenti fini. Manch tiyo yo ta dwe fèt ak menm materyèl la epi sifas enteryè a dwe lis ak tiyo yo. Plan, pandan soudaj, pou anpeche oksidasyon pati soude a, yo ta dwe entwodui gaz pwoteksyon pi nan tiyo soudaj la. Pou tiyo asye pur, yo ta dwe itilize soudaj ak ark agon, epi yo ta dwe entwodui gaz agon ki gen menm pite a nan tiyo a. Yo dwe itilize koneksyon filete oswa koneksyon filete. Lè w ap konekte bride, yo ta dwe itilize ferul pou koneksyon filete. Eksepte pou tiyo oksijèn ak tiyo idwojèn, ki ta dwe itilize jwenti metal, lòt tiyo yo ta dwe itilize jwenti politetrafluoroetilèn. Aplike yon ti kantite kawotchou silikon sou jwenti yo ap efikas tou. Amelyore efè sele a. Yo ta dwe pran menm mezi yo lè y ap fè koneksyon bride.
Anvan travay enstalasyon an kòmanse, yon enspeksyon vizyèl detaye sou tiyo yo,ekipman, tiyo, elatriye dwe fèt. Miray enteryè tiyo asye pur òdinè yo ta dwe marinated anvan enstalasyon. Tiyo, ekipman, tiyo, elatriye nan tuyaux oksijèn yo ta dwe entèdi nan lwil oliv, epi yo ta dwe degrese estrikteman dapre egzijans ki enpòtan yo anvan enstalasyon.
Anvan yo enstale epi mete sistèm nan an fonksyon, yo dwe netwaye nèt sistèm tiyo transmisyon ak distribisyon an ak gaz ki gen gwo pite a. Sa pa sèlman retire patikil pousyè ki tonbe aksidantèlman nan sistèm nan pandan pwosesis enstalasyon an, men tou, li jwe yon wòl siye nan sistèm tiyo a, li retire yon pati nan gaz ki gen imidite ki te absòbe pa miray tiyo a e menm pa materyèl tiyo a.

4. Tès presyon ak akseptasyon tiyo
(1) Apre sistèm nan fin enstale, yo dwe fè yon enspeksyon radyografik 100% sou tiyo k ap transpòte likid trè toksik nan tuyot gaz espesyal yo, epi kalite yo pa dwe pi ba pase Nivo II. Lòt tiyo yo dwe sibi yon enspeksyon radyografik echantiyonaj, epi rapò enspeksyon echantiyonaj la pa dwe mwens pase 5%, kalite a pa dwe pi ba pase klas III.
(2) Apre yo fin pase enspeksyon ki pa destriktif la, yo ta dwe fè yon tès presyon. Pou asire siyete ak pwòpte sistèm tiyo a, yo pa dwe fè yon tès presyon idwolik, men yo ta dwe itilize yon tès presyon pneumatik. Yo ta dwe fè tès presyon lè a lè l sèvi avèk nitwojèn oswa lè konprese ki koresponn ak nivo pwòpte chanm pwòp la. Presyon tès tiyo a ta dwe 1.15 fwa presyon konsepsyon an, epi presyon tès tiyo vakyòm nan ta dwe 0.2MPa. Pandan tès la, yo ta dwe ogmante presyon an piti piti epi dousman. Lè presyon an rive nan 50% presyon tès la, si yo pa jwenn okenn anomali oswa flit, kontinye ogmante presyon an piti piti pa 10% presyon tès la, epi estabilize presyon an pandan 3 minit nan chak nivo jiskaske presyon tès la rive. Estabilize presyon an pandan 10 minit, answit diminye presyon an nan presyon konsepsyon an. Yo ta dwe detèmine tan pou sispann presyon an selon bezwen deteksyon flit la. Ajan kim lan kalifye si pa gen okenn flit.
(3) Apre sistèm vakyòm nan fin pase tès presyon an, li ta dwe fè tou yon tès degre vakyòm pandan 24 èdtan dapre dokiman konsepsyon yo, epi to presyon an pa ta dwe pi gran pase 5%.
(4) Tès flit. Pou sistèm tiyo ppb ak ppt, dapre espesifikasyon ki enpòtan yo, pa gen okenn flit ki kalifye, men tès kantite flit la itilize pandan konsepsyon an, sa vle di, tès kantite flit la fèt apre tès etancheite a. Presyon an se presyon travay la, epi presyon an rete pandan 24 èdtan. Mwayèn flit pa èdtan an mwens pase oswa egal a 50ppm jan sa kalifye. Kalkil flit la se jan sa a:
A=(1-P2T1/P1T2)*100/T
Nan fòmil la:
Flit chak èdtan (%)
P1-Presyon absoli nan kòmansman tès la (Pa)
P2-Presyon absoli nan fen tès la (Pa)
T1-tanperati absoli nan kòmansman tès la (K)
T2-tanperati absoli nan fen tès la (K)